収束電子ビームをスキャンして結像するため，TEMよりも厚い試料の観察が可能．観察できる試料厚は加速電圧300 kVのTEMで～300 nm程度であるが，同じ300 kVのSTEMでは厚さ5～6μmに達する．なおμmレベルの切片厚は，超高圧TEMでなければ観察できなかった．（実験医学2010年1月号より）
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