スパッタエッチング
すぱったえっちんぐ
イオンビームを試料表面に照射すると，試料表面の原子がはじき出され，試料から物質を除去することができる．この現象を利用して試料表面をエッチング（食刻）することをスパッタエッチングという．（バイオテクノロジージャーナル52より）
生きた細胞を自在に操るテクノロジーレーザー技術が拓くナノバイオの新しい世界
解説は発行当時の掲載内容に基づくものです
本コンテンツは，2018年まで更新されていた同名コンテンツを元に，新規追加・再編集したものです
すぱったえっちんぐ
イオンビームを試料表面に照射すると，試料表面の原子がはじき出され，試料から物質を除去することができる．この現象を利用して試料表面をエッチング（食刻）することをスパッタエッチングという．（バイオテクノロジージャーナル52より）
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